Peralatan pembersihan otomatis dewaxing untuk Sapphire Substrate Post - CMP terdiri dari sistem pasokan air panas eksternal (mampu menyajikan hingga tiga mesin pembersih), area makan LD, area pembersihan, manipulator, ULD, dan komponen lainnya. Ini fitur pemanasan otomatis dan perangkat sirkulasi suhu konstan, perangkat pembersih ultrasonik, semprotkan perangkat pelepasan dan overflow cepat, dan sistem pipa dan sistem kontrol listrik.
Pembersih wafer untuk setelah - Polishing adalah PLC - dikendalikan dan mencakup fungsi seperti waktu pembersihan yang dapat disesuaikan, peringatan penyelesaian pembersihan, penyesuaian kontrol suhu, alarm tingkat cairan tinggi/rendah, perlindungan meluap, dan alarm deteksi kebocoran.
Parameter produk
Aliran Produksi:
Muat → Rendam Tangki → Tangki Pembersih Dewaxing → Tangki Pembersih Dewaxing → Tangki Overflow Ultrasonik → Tangki Kimia Ultrasonik → Tangki Kimia Ultrasonik → Tangki Overflow Ultrasonik → Untload Ultrasonik → Tangki Lapangan Ultrasonik → Slow Lift Tangki → Untload → Untload → Untload → Untload → Untload → Untload → Untload → Untload → Untload → Untload → Untload → Untload → Slow Unload
Bahan Utama:
Bingkai logam + pp shell; Tank menggunakan SUS316 Sikat Lembar.
Angkutan:
Transportasi lengan robot.
Fitur dan aplikasi produk
Dirancang untuk membersihkan substrat sapphire setelah posting - CMP.
Detail Produk
Saat digunakan dengan agen pembersih yang sesuai, pembersih wafer untuk setelah - pemolesan secara efektif menghilangkan lilin dan partikel dari substrat sapphire.
Agen pembersih tidak mempengaruhi sifat fisik benda kerja, dan benda kerja tetap tidak rusak.
Persyaratan kebersihan: Tidak ada partikel yang diaglomerasi yang terlihat pada permukaan internal atau eksternal benda kerja.
Skenario Aplikasi
◇ Pada bulan November 2024, lima set peralatan pembersihan otomatis dewaxing untuk Sapphire Substrate Post - CMP ditugaskan dan mulai beroperasi di lokasi pelanggan untuk HC Semitek.
Tag populer: wafer cleaner untuk setelah - Polishing, China wafer cleaner untuk setelah - produsen pemolesan
